smc平穩(wěn)出氣閥XVD2-02V

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保持旋轉(zhuǎn)的初始供氣調(diào)節(jié)螺母r以右側(cè)，小可能

初始空氣供給流量是在該點(diǎn)銘牌和調(diào)整

螺母標(biāo)記對(duì)齊接近的地方扭矩感受。 （注意不要

收緊初始空氣供應(yīng)調(diào)節(jié)螺母4進(jìn)一步過(guò)這一點(diǎn)上，

因?yàn)檫@可能會(huì)導(dǎo)致部件損壞。）

確認(rèn)初始空氣供應(yīng)調(diào)節(jié)螺母r的位置之后

和初始空氣供給刻度板！7的角度對(duì)準(zhǔn)刻度，

通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺母向左調(diào)整初始空氣供給量。據(jù)

以“轉(zhuǎn)數(shù)和流動(dòng)特性”作為

示出，設(shè)置初始空氣供給流動(dòng)。通過(guò)擰緊設(shè)置，鎖定后

初始空氣供給鎖螺絲！50.5 N·cm的扭矩。

閥門(mén)/針型閥集成建設(shè) - 需要以

前只有1/4的管道空間模型。

通過(guò)切換到主閥電路，主閥門(mén)

打開(kāi)，全量被引入到室中。

用平頭螺絲刀輕輕轉(zhuǎn)動(dòng)初始供氣鎖

螺絲！5要左側(cè)，放松它，直到它停止。

顆粒顯著減少通過(guò)使用一個(gè)金屬膜片的板部分

雙方初的送風(fēng)氣流和主供氣能進(jìn)行調(diào)整。

返回時(shí)，引入一次性全部供給壓力

（清潔的空氣/ N2）的全部金額

在真空室中的氣氛會(huì)引起微粒就可以進(jìn)入

室。為了防止這種情況，以后慢慢

引入的初始空氣供給和設(shè)置

的壓力，切換到主閥回路供給的全部金額。

在初始狀態(tài)下，所述子閥打開(kāi)和設(shè)

置金額（針閥）緩慢供給入腔室。

通過(guò)在片材部分使用金屬膜片的微粒顯著降

的兩個(gè)初始空氣供應(yīng)和主空氣供給量可以調(diào)節(jié)。

省空間閥門(mén)/針型閥集成建設(shè) - 要求

只有1/4的管道空間以前的型號(hào)。

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聯(lián)系人；范勇霞

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